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化工材料
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硅化铌在材料方面的应用
背景及概述 1 2 铌 Nb 是一种高熔点 2468 的难熔金属 雅宝密度适中 耐腐蚀 抗辐射 同时高温强度大 具有良好的高温机械性能 铌与铌合金的优良特性使其成为航空 航天与核工业中高温结构件的重要候选材料之一 可用来制造火箭发动机 核反应堆等关键部件 然而 其氧化性能较差 纯铌在600 就发生
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硅化钽的主要应用
背景及概述 1 金属硅化物有着类似金属的导电性能 高温性能 抗氧化性能和与硅集成电路的生产工艺相容性 过渡金属硅化物可用于低电阻栅门和内连线 肖特基栅 电阻接触 硅化钽制备方法包括 燃烧合成法 combustionsynthesis CS 或自蔓延高温合成法 电弧熔炼法等 燃烧合成法或自蔓延高温合成
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硅化钼的制备及应用
背景及概述 1 2 硅化钼 Molybdenum Disilicide MoSi2 是一种钼的硅化合物 也称为二硅化钼 硅化钼具有高熔点 低密度 良好的导热性和良好的导电性以及优良的高温抗氧化性 高弹性模量 低热膨胀系数 较高的强度 耐化学腐蚀和良好的抗热震性 被广泛应用于高温发热体元件材料和高温抗
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硅化钒在陶瓷材料方面的应用
背景及概述 1 2 硅化物是制备大规模集成电路的关键材料 用它可以作电路的欧姆接触 肖特基势垒和电极引线 超大规模集成电路结深很浅 如64 兆位的超大规模集成电路的PN 结深度浅到200nm 在如此浅结表面用常规的方法制备电极引线 经常导致PN 结穿通 使电路失效 为此则需要制备薄层硅化物 其中硅化
