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【科技前沿】宁波材料所:可在任意表面绝缘衬底PECVD法制备无需转移单层石墨烯

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【科技前沿】宁波材料所:可在任意表面绝缘衬底PECVD法制备无需转移单层石墨烯


     大面积、高质量石墨烯在传感器和透明导电应用方面有着重大需求,而化学气相沉积法是一种被广泛应用在金属催化剂上生长石墨烯薄膜的方法。然而,由于石墨烯和金属之间有着不同的热膨胀系数(Cu:图片,graphene:图片),生长过程中难免会产生皱纹和裂缝,降低单层石墨烯的质量。近年来,使用等离子体增强技术(PECVD)可以使甲烷在较低温度下裂解为碳原子在金属催化剂上沉降形成石墨烯薄膜,但是石墨烯薄膜表面会受到等离子的轰击而产生缺陷和空洞。

中科院宁波材料所表面事业部功能碳素材料团队开发了一种绿色环保、无需转移、且能在较低温度下制备单层高质量石墨烯的方法,并在表面粗糙不平的透明电极进行了应用。利用该技术已获....


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