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246810-环五硅氧烷的应用
概述[1][2]
2,4,6,8,10-环五硅氧烷又叫五甲基环五硅氧烷，是一种有机硅化合物。其可用于制备包含硅氧烷溶剂的有机功能材料。
应用[1-2]
一、用于沉积低介电常数薄膜
在制造集成电路时，等离子体工艺逐渐被用于替代热处理。为了进一步减小集成电路上的器件尺寸，需要使用低电阻率的硫化锌导电材料和使用低介电常数(低-K)绝缘体来降低相邻金属连线之间的电容耦合。
CN201010219968.5提供了一种用于沉积低介电常数薄膜的方法。所述方法通过在具有功率供给的电极的处理腔室中定位衬底，使一种或多种氧化气体流入处理腔室，从第一大容量储存容器中使有机硅化合物以第一有机硅流速经过第一数字式液体流量计流到第一蒸发注射阀，蒸....
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