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抛光液性能对工件双面抛光的影响
cmp抛光液的性能直接影响抛光后工件的表面质量，是双面抛光的关键因素之一。抛光液通常包括超细固体磨料颗粒（如纳米A120和SiO:磨料颗粒）、表面活性剂、氧化剂和稳定剂，在这种情况下，固体磨料颗粒产生切割效果，以去除由于化学变化而需要去除的部分，氧化剂产生化学腐蚀溶解，以溶解碎屑。在抛光过程中，抛光溶液中磨料颗粒的类型、形状、尺寸、浓度、化学成分、PH值、粘度、流速和流动路径会影响去除率。
当抛光由不同材料制成的工件时，所需抛光溶液的组成和PH值也不同。PH值影响工件的表面质量....
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