抗静电塑料在半导体领域的应用
静电在自然界几乎是无所不在,静电的产生主要来自于摩擦。最经典的塑料摩擦起电,就是大家都熟知的将塑料笔在头发上摩擦后去吸引碎纸屑这个小实验。
半导体制造极易受到误操作和污染的影响,对其保护和洁净度的控制始于晶圆厂并延伸至实际应用中,抗静电塑料在其中发挥重要作用。
静电对半导体的危害
造成器件静电损伤
芯片的整个制程中,芯片产品(特别是集成度高或小尺寸的芯片产品)以及晶圆均对静电敏感,容易受到相关设备或工具的静电损伤;
静电吸附尘埃、污染物,降低成品率
半导体的光刻对尘埃特别敏感,在曝光工序时,无论是在晶片上还是在防护罩上的任何级别的尘埃都能引起管芯图形的失效。....
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